Oxidació tèrmica
En la microfabricació, l'oxidació tèrmica és una manera de produir una fina capa d'òxid (generalment diòxid de silici) a la superfície d'una oblia. La tècnica obliga un agent oxidant a difondre's a l'oblia a alta temperatura i reaccionar amb ella. El model de Deal-Grove prediu sovint la taxa de creixement de l'òxid.[1] L'oxidació tèrmica es pot aplicar a diferents materials, però més comunament implica l'oxidació de substrats de silici per produir diòxid de silici.[2]
Referències
[modifica]- ↑ Liu, M.; etal Theoretical and Applied Mechanics Letters, 6, 5, 2016, pàg. 195–199. DOI: 10.1016/j.taml.2016.08.002 [Consulta: free].
- ↑ «Thermal Oxidation - an overview | ScienceDirect Topics» (en anglès). https://www.sciencedirect.com.+[Consulta: 4 juliol 2022].